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技術(shù)文章

關(guān)于FEI掃描電鏡的特點,你知道多少?

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  FEI掃描電鏡將各種成像和分析模式與新的先進自動化相結(jié)合,為同類儀器提供最完整的解決方案。它非常適用于需要高分辨率,樣品靈活性和易于使用的操作界面的工業(yè)研發(fā),質(zhì)量控制和故障分析應(yīng)用。
 
  FEI掃描電鏡的性能特點
 
  1、出色的成像
 
  多用戶實驗室需要顯微鏡在短時間內(nèi)生成具有相關(guān)數(shù)據(jù)的高質(zhì)量圖像。PrismaE采用基于四極管組件的強大成像系統(tǒng)滿足了這一需求,可在各種光束能量和真空條件下提供出色的結(jié)果。在所有這些條件下,地形圖和成像圖都提供必要的樣本信息。通過同步采集,該信息可供隨后進一步解釋和分析。
 
  2、輕松導(dǎo)航
 
  室內(nèi)導(dǎo)航相機提供樣品架的詳細(xì)照片,使其易于使用一個會話中的多個樣本并逐個導(dǎo)航到它們。在示例中,只需單擊它即可轉(zhuǎn)到感興趣的區(qū)域。導(dǎo)航凸輪圖像與樣本一起旋轉(zhuǎn),因此導(dǎo)航非常直觀。
 
  3、樣本靈活性
 
  具有三種成像模式-高真空,低真空適用于任何SEM的*泛樣品。此外,腔室適合大樣品,并配備5軸電動中心平臺,傾斜范圍為105°,可以從各個角度觀察樣品。
 
  4、支持分析
 
  分析室支持對元素和晶體學(xué)樣品數(shù)據(jù)的日益增長的需求,該分析室支持多個EDX檢測器以提高通量并消除陰影效應(yīng)。此外,分析室支持共面和平行光束WDS,以確保所有技術(shù)的最佳定位。得益于原位功能,即使在絕緣或高溫樣品上也能獲得可靠的分析結(jié)果。

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